无需点、直线、圆等要素即可进行自动判定。 尺寸显示功能 可在测量图上显示参数、几何偏差等实测量值。 形状合成功能 合成功能解消了因测针角度而使分析范围受限的问题 峰值谷值搜寻功能 可由测针轨迹检测出工件的Z大点，容易进行对准。 计算点的重复功能 具有重复形状的工件只需分析1个图案便可以对整个工件进行分析。 工件轨迹功能

通过演示·回放功能可以自动进行从测量到采用数据粘贴制作检查成绩书等一系列操作。 Z高测量速度达20mm/s，Z大移动速度达60mm/s，速度如此之快大大提高了测量效率。

高精度的轮廓测量，Z方向1µm以下的测量。（变位5mm时） 自动要素判定功能（AI功能） 无需点、直线、圆等要素即可进行自动判定。 尺寸显示功能 可在测量图上显示参数、几何偏差等实测值。 形状合成功能 合成功能解消了因测针角度而使分析范围受限的问题。